အဆင့်မြင့် Facilities ထိရောက်သောထုတ်လုပ်မှုMenurut laporan, pengeluar peralatan semikonduktor domestik Zhongsheng Optoelektronik Equipment (Shanghai) Co., Ltd. (selepas ini dirujuk sebagai "Zhongsheng Optoelektronik") telah melancarkan teknologi dan model MOCVD baharu untuk aplikasi LED ultraungu mendalam, seterusnya mengurangkan kos peralatan dan meningkatkan kapasiti pengeluaran .
Menurut data, Zhongsheng Optoelektronik telah ditubuhkan pada Mei 2011 dan beribu pejabat di Zhangjiang High-tech Park, Pudong, Shanghai. Ia memberi tumpuan kepada penyelidikan dan pembangunan serta pengeluaran peralatan MOCVD untuk pembuatan komponen semikonduktor LED dan generasi kedua/ketiga. Ia adalah salah satu daripada beberapa teknologi teras bebas milik tempatan. Salah satu syarikat pembuatan MOCVD terbesar. Selain itu, menurut People's Daily Online, Zhongsheng Optoelectronics dan China Microelectronics pernah memecahkan monopoli jangka panjang Aixtron Jerman dan Veeco Amerika di pasaran China dalam bidang pencahayaan LED.
Dari 2016 hingga 2017, Zhongsheng Optoelektronik dan Jetson Semiconductor, pengeluar LED ultraviolet dalam domestik terkemuka, bersama-sama membangunkan dan mengindustrikan peralatan MOCVD ultraungu dalam yang pertama di China - ProMaxy® UV, yang telah menjadi penyelidikan dan pembangunan serta kapasiti pengeluaran LED ultraviolet dalam. teknologi sejak 2020. Salah satu model utama pengembangan. Baru-baru ini, Rangkaian Industri Semikonduktor melaporkan bahawa Zhongsheng Optoelektronik telah membuat penemuan baharu dalam peralatan MOCVD ultraungu yang mendalam.
Dilaporkan bahawa dengan pengembangan berterusan dan promosi aplikasi LED ultraviolet dalam, pasaran telah mengemukakan keperluan yang lebih tinggi untuk kecekapan penukaran kuasa, hasil dan kos pengeluaran produk LED ultraviolet dalam. Dari perspektif epitaksi, kualiti kristal bahan, ciri-ciri morfologi permukaan dan kawalan retak pertumbuhan epitaxial AlN (aluminium nitrogen) untuk LED ultraungu dalam mempunyai kesan yang ketara ke atas meningkatkan kecekapan dan hasil penukaran kuasa, dan peralatan MOCVD digunakan sebagai teknologi epitaksi. Peralatan teras juga perlu dinaik taraf untuk memenuhi keperluan yang lebih tinggi.
Untuk tujuan ini, berdasarkan teknologi teras inovasi bebas UV ProMaxy®, Zhongsheng Optoelektronik terus berinovasi dan mengoptimumkan kawalan medan suhu ruang tindak balas, penghantaran dan pengedaran seragam gas tindak balas dan teknologi lain, dan mewujudkan kualiti tinggi. AlN yang boleh dihasilkan secara epitaksi. Teknologi teras MOCVD baharu yang boleh mengembangkan kapasiti pengeluaran (sekurang-kurangnya 15x2) dan mengurangkan kos pengeluaran.
Pada masa yang sama, untuk mengurangkan lagi kos peralatan dan meningkatkan kapasiti pengeluaran, Zhongsheng Optoelektronik turut melancarkan model UV ProMaxy® yang boleh dikonfigurasikan dengan 4 ruang tindak balas. Model ini bukan sahaja boleh menghasilkan struktur penuh LED ultraungu dalam setiap rongga secara epitaxial, tetapi juga boleh mengintegrasikan pengeluaran epitaxial substrat AlN dan struktur LED dalam rongga yang berasingan.
Pada masa ini, Jayson Semiconductor mempunyai 4 peralatan UV MOCVD dalam Zhongsheng Optoelektronik, yang digunakan untuk pengeluaran besar-besaran produk epitaxial untuk memenuhi keperluan aplikasi LED UV dalam seperti pensterilan perubatan, barangan putih dan pembersihan air. Jason Semiconductor berkata bahawa menggunakan teknologi MOCVD baharu Zhongsheng Optoelektronik dan model konfigurasi berbilang rongga, substrat AlN berkualiti tinggi yang diperlukan untuk pengeluaran besar-besaran boleh diperoleh, di samping meningkatkan kapasiti pengeluaran dengan ketara dan mengurangkan kos pengeluaran epitaksi.
Dilaporkan bahawa selain Jason Semiconductor, ramai pelanggan domestik telah menggunakan teknologi MOCVD baharu Zhongsheng Optoelektronik dan memperoleh substrat AlN berkualiti tinggi dan kos rendah. Kelebihan khusus ialah: ciri permukaan Rq<0.5nm, edge="" cracks="" controlled="" at=""><2mm. zhongsheng="" optoelectronics="" said="" that="" in="" the="" future,="" it="" will="" launch="" new="" solutions="" through="" continuous="" innovation="" to="" meet="" the="" growing="" needs="" of="" deep="" ultraviolet="" led="" technology="" development="" and="" mass="">
Perlu diingat juga bahawa Zhongsheng Optoelektronik telah mengembangkan pelaburannya secara beransur-ansur dalam bidang peralatan MOCVD semikonduktor generasi ketiga dalam beberapa tahun kebelakangan ini. Pada tahun 2020, peralatan ProMaxy® PD Zhongsheng Optoelektronik untuk peranti diskret GaN semikonduktor generasi ketiga telah memasuki peringkat penilaian dan pengesahan pasaran. Pada bulan Ogos tahun yang sama, Zhongsheng Optoelektronik memperoleh modal sebanyak 113 juta yuan yang diketuai oleh Shanghai Pudong Science and Technology Group Co., Ltd. untuk penyelidikan dan pembangunan serta pengeluaran peralatan canggih untuk peranti diskret semikonduktor generasi kedua/tiga .
Sama ada aplikasi LED ultraviolet dalam atau aplikasi semikonduktor generasi ketiga, Zhongsheng Optoelektronik telah memenangi pengiktirafan dan sokongan pasaran modal dan bahagian aplikasi. Pada masa hadapan, diharapkan sistem peralatan MOCVD berasaskan teknologi terasnya sendiri akan dipertingkatkan melalui penyelidikan dan pembangunan yang inovatif serta keupayaan pembiayaan. Penambahbaikan peralatan MOCVD akan meningkatkan penyetempatan peralatan MOCVD.